波功能超材料中央实验室 Wave Functional Metamaterial Research Facility
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波功能超材料中央实验室 (WFMRF) 安全准入要求和流程 2025-03-17 13:33
波功能超材料中央实验室 (WFMRF) 注册-准入-培训-预约流程指引 2025-03-17 13:33
仪器预约
波功能超材料中央实验室安全工作荣获年度优秀荣誉 2025-01-24 14:05
波功能超材料中央实验室（WFMRF）大型加热炉安全使用规范（暂行） 2025-01-24 14:05
波功能超材料中央实验室（WFMRF）仪器预约和计费系统正式运行事项 2024-12-30 17:23
波功能超材料中央实验室（WFMRF）2025H1培训日历 2024-12-27 12:42
送样测试
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微波暗室及近场和远场测试系统(W3一层124A)
暗室尺寸(长×宽×高)： 8.6m×5m×4.6m，墙壁铺设屏蔽框架和吸波材料，包括控制电路、监控、照明和消防探头的配套设施，配备天线平面近场测量系统（1.7～40GHz）一套和室内天线远场测量系统（0.9～12GHz）一套，可以对微波天线的近场辐射特性和远场辐射特性进行测试和分析。
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磁控溅射设备(W3三层322)
用于沉积Ti、Cr、Au、Pt、Cu等金属薄膜。 直流电源功率：0-500W； 均匀性和重复性：在4 inch衬底厚度均匀性优于±5%，重复性优于±3%； 样品尺寸：1片4 inch，向下兼容； 基底温度：0℃-500℃可调； 真空室漏率：5E-5Torr.L/s ； 极限真空：5E-7Torr。
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飞秒激光器(W3三层321I)
一款具有自动色散补偿的超快钛蓝宝石激光器： 向样本传输最高峰值功率； 调谐范围广泛，可有效激发常用荧光团； 全自动； 优异的光束和指向稳定性，保持关键的显微镜对准。 主要参数： 峰值功率＞425 kW 脉冲宽度＜70 fs 调谐范围：690-1040 nm 重复频率：80 MHz±1 MHz 偏振：＞500:1 @水平方向 光束圆度：0.9-1.1 光束直径：＜1.2 mm
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等离子清洗仪（理化）(W3三层321E)
PIE Scientific Tergeo 应用领域： 引线键合倒装芯片底部填充，器件的封装和解封 光刻胶灰化、除渣、硅片清洗 PDMS/微流控/载玻片/芯片实验 去除的扫描电镜/电镜样品上碳氢污染物 改善金属与金属或复合材料的结合 改善塑料、聚合物和复合材料的粘接 石英腔体尺寸：内径：110mm；深280mm 样品架：2mm厚高纯度石英板 射频天线：外部射频电极和天线设计减少了内部金属电极 射频功率：13.56mhz射频电源，自动阻抗匹配，射频功率有两种选择：0-75watt和0-150watt 工艺气路：高达三个MFC气路 用户界面：7寸电阻式触摸屏
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激光粒度仪(W3三层321G)
适用于湿法测试样品的粒度分布
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多功能键合机(W3三层321C)
1 焊线种类：金线（15~75μm） 2 腔深范围：球焊≥10mm，楔焊≥20mm 3 线轴尺寸适配：2英寸或者1/2英寸 4 键合头 Z 向行程：≥18 mm 5 键合头 X-Y 范围：≥14mm×14mm 6 升降台 Z 向行程：≥18 mm 7 升降台 X-Y 范围：≥于260mm×270mm 8 超声功率：≥5w，可调精度≤0.01w 9 加热台温度：最高温度≥190℃ 10 配备显微镜，最大放大倍数≥15倍，可0.8-4倍连续变焦 11 能兼顾球焊和楔焊的键合工艺 12 劈刀配置不少于：16mm球焊劈刀，19mm楔焊劈刀，25mm楔焊劈刀 13 键合力范围：涵盖1g-250g，分辨率≤1g 14 整机有 ESD 防护功能 15 刹车方式：电动 16 工作台面积：≥260*270mm 17 压焊头行程操作比率8:1
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场发射扫描电子显微镜(W3三层323)
电子枪种类： 冷场发射 SE分辨率可达：1.2nm @30 kV ； BSE分辨率可达：2.0nm @30kV； 放大倍数范围：10-1,000,000×； 加速电压的调整范围：200 V-30 kV； 最大电流：400 nA； 平台移动量程：130 mm × 130 mm； 配备BRUKER XFlash 630m 能谱仪，可提供样品表面微区元素周期表中元素（Be - Am）之定性与半定量分析，以及特定区域之point、line scan、mapping分析。 出色的能量分辨率（Mn Kα 为 123 eV，C Kα 为 45 eV，F Kα 为 53 eV） 极高的脉冲负载能力 出色的轻元素和低能端检测性能（Be - Am 元素范围）
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台阶仪(W3三层321A)
DektakXT®探针式轮廓仪采用革命性的台式设计，可实现 4Å （0.4nm） 的优异重复性，扫描速度可提高 40%。探针式轮廓仪性能的这一重大突破是 Dektak® 五十多年创新和行业领导地位的顶峰。DektakXT 结合了行业领先的技术和设计，可提供高性能、易用性以及价值，实现从研发到质量控制的更好过程监控。DektakXT 的技术突破为微电子、半导体、太阳能、高亮度 LED、医疗和材料科学行业的关键尺寸的纳米级表面测量提供支持。 主要参数： 检测方式：接触式探测 检测范围：二维表面形貌测量 样品观测方式：数字放大
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微波暗室环境(W3一层124A)
两端口网络分析仪；频率：10MHz~43.5GHz，测试端口数：2，动态范围：127 dB，轨迹噪声：0.003 dBrms，可进行两端口S参数测试，包括但不限于阻抗、驻波比、增益、史密斯圆图、传输增益或损耗、相位、时延等，支持扩展材料测试，测试项如介电常数和磁导率等。
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晶圆键合机(W3三层322)
TWB-100A晶圆片键合机的应用范围主要是4英寸晶圆片键合。将需要键合的晶圆放置夹具上，手动将夹具放置反应腔室中，在设备腔室里工艺完成后，将夹具取出。 1、晶圆键合尺寸4英寸； 2、真空度可达5×10-3Pa； 3、在可控环境（温度、压力、高压等）下键合； 4、可将晶圆加温至450℃，键合工艺结束后自然冷却。
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离子束溅射仪(W3三层323)
Q150R ES能适用于各种样品，并能方便地装卸样品。在安装溅射和蒸发之间的切换很简单。该系统是完全自动化的，由用户定义的配方控制泵送顺序，放气，蒸发脉冲和溅射电流和时间。 工作腔室：硼硅酸盐玻璃150 mm x 127 mm 溅射靶材：圆片式57 mm直径的靶材 样品台：直径50 mm旋转样品台，转速8-20 rpm 极限真空度：2 x 10-2 mbar * 溅射工作真空：镀金时可设真空度范围在2 x 10-2mbar和1 x 10-1mbar之间。
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紫外可见分光光度计(W3三层321A)
Cary 5000 UV-Vis-NIR 分光光度计是一款高性能 UV-Vis 和 NIR 分光光度计，在 175-3300 nm 范围内具有优异的光度测量性能。 主要参数： Z轴高度：20mm 光度系统：双光束 光度范围(Abs)：8 Abs 光源：卤钨灯可见光和氘弧紫外光 光谱带宽：UV-Vis：0.01 - 5.00 nm；NIR：0.04 - 20 nm 波长范围：175 - 3300 nm
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矢量网络分析仪N5290A(W3三层321B)
N5290A网分仪由N5222B网分仪模块，N5292A测试集模块和N5293A扩频头组合而成，频率覆盖900Hz~110GHz，可执行两端口S参数测试，包括但不限于阻抗、驻波比、增益、史密斯圆图、传输增益或损耗、相位、时延等，支持扩展材料测试，测试项如介电常数和磁导率等。
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微波暗室及近场和远场测试系统(W3一层124A)
暗室尺寸(长×宽×高)： 8.6m×5m×4.6m，墙壁铺设屏蔽框架和吸波材料，包括控制电路、监控、照明和消防探头的配套设施，配备天线平面近场测量系统（1.7～40GHz）一套和室内天线远场测量系统（0.9～12GHz）一套，可以对微波天线的近场辐射特性和远场辐射特性进行测试和分析。
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磁控溅射设备(W3三层322)
用于沉积Ti、Cr、Au、Pt、Cu等金属薄膜。 直流电源功率：0-500W； 均匀性和重复性：在4 inch衬底厚度均匀性优于±5%，重复性优于±3%； 样品尺寸：1片4 inch，向下兼容； 基底温度：0℃-500℃可调； 真空室漏率：5E-5Torr.L/s ； 极限真空：5E-7Torr。
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飞秒激光器(W3三层321I)
一款具有自动色散补偿的超快钛蓝宝石激光器： 向样本传输最高峰值功率； 调谐范围广泛，可有效激发常用荧光团； 全自动； 优异的光束和指向稳定性，保持关键的显微镜对准。 主要参数： 峰值功率＞425 kW 脉冲宽度＜70 fs 调谐范围：690-1040 nm 重复频率：80 MHz±1 MHz 偏振：＞500:1 @水平方向 光束圆度：0.9-1.1 光束直径：＜1.2 mm
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等离子清洗仪（理化）(W3三层321E)
PIE Scientific Tergeo 应用领域： 引线键合倒装芯片底部填充，器件的封装和解封 光刻胶灰化、除渣、硅片清洗 PDMS/微流控/载玻片/芯片实验 去除的扫描电镜/电镜样品上碳氢污染物 改善金属与金属或复合材料的结合 改善塑料、聚合物和复合材料的粘接 石英腔体尺寸：内径：110mm；深280mm 样品架：2mm厚高纯度石英板 射频天线：外部射频电极和天线设计减少了内部金属电极 射频功率：13.56mhz射频电源，自动阻抗匹配，射频功率有两种选择：0-75watt和0-150watt 工艺气路：高达三个MFC气路 用户界面：7寸电阻式触摸屏
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激光粒度仪(W3三层321G)
适用于湿法测试样品的粒度分布
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多功能键合机(W3三层321C)
1 焊线种类：金线（15~75μm） 2 腔深范围：球焊≥10mm，楔焊≥20mm 3 线轴尺寸适配：2英寸或者1/2英寸 4 键合头 Z 向行程：≥18 mm 5 键合头 X-Y 范围：≥14mm×14mm 6 升降台 Z 向行程：≥18 mm 7 升降台 X-Y 范围：≥于260mm×270mm 8 超声功率：≥5w，可调精度≤0.01w 9 加热台温度：最高温度≥190℃ 10 配备显微镜，最大放大倍数≥15倍，可0.8-4倍连续变焦 11 能兼顾球焊和楔焊的键合工艺 12 劈刀配置不少于：16mm球焊劈刀，19mm楔焊劈刀，25mm楔焊劈刀 13 键合力范围：涵盖1g-250g，分辨率≤1g 14 整机有 ESD 防护功能 15 刹车方式：电动 16 工作台面积：≥260*270mm 17 压焊头行程操作比率8:1
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场发射扫描电子显微镜(W3三层323)
电子枪种类： 冷场发射 SE分辨率可达：1.2nm @30 kV ； BSE分辨率可达：2.0nm @30kV； 放大倍数范围：10-1,000,000×； 加速电压的调整范围：200 V-30 kV； 最大电流：400 nA； 平台移动量程：130 mm × 130 mm； 配备BRUKER XFlash 630m 能谱仪，可提供样品表面微区元素周期表中元素（Be - Am）之定性与半定量分析，以及特定区域之point、line scan、mapping分析。 出色的能量分辨率（Mn Kα 为 123 eV，C Kα 为 45 eV，F Kα 为 53 eV） 极高的脉冲负载能力 出色的轻元素和低能端检测性能（Be - Am 元素范围）
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台阶仪(W3三层321A)
DektakXT®探针式轮廓仪采用革命性的台式设计，可实现 4Å （0.4nm） 的优异重复性，扫描速度可提高 40%。探针式轮廓仪性能的这一重大突破是 Dektak® 五十多年创新和行业领导地位的顶峰。DektakXT 结合了行业领先的技术和设计，可提供高性能、易用性以及价值，实现从研发到质量控制的更好过程监控。DektakXT 的技术突破为微电子、半导体、太阳能、高亮度 LED、医疗和材料科学行业的关键尺寸的纳米级表面测量提供支持。 主要参数： 检测方式：接触式探测 检测范围：二维表面形貌测量 样品观测方式：数字放大
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微波暗室环境(W3一层124A)
两端口网络分析仪；频率：10MHz~43.5GHz，测试端口数：2，动态范围：127 dB，轨迹噪声：0.003 dBrms，可进行两端口S参数测试，包括但不限于阻抗、驻波比、增益、史密斯圆图、传输增益或损耗、相位、时延等，支持扩展材料测试，测试项如介电常数和磁导率等。
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晶圆键合机(W3三层322)
TWB-100A晶圆片键合机的应用范围主要是4英寸晶圆片键合。将需要键合的晶圆放置夹具上，手动将夹具放置反应腔室中，在设备腔室里工艺完成后，将夹具取出。 1、晶圆键合尺寸4英寸； 2、真空度可达5×10-3Pa； 3、在可控环境（温度、压力、高压等）下键合； 4、可将晶圆加温至450℃，键合工艺结束后自然冷却。
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离子束溅射仪(W3三层323)
Q150R ES能适用于各种样品，并能方便地装卸样品。在安装溅射和蒸发之间的切换很简单。该系统是完全自动化的，由用户定义的配方控制泵送顺序，放气，蒸发脉冲和溅射电流和时间。 工作腔室：硼硅酸盐玻璃150 mm x 127 mm 溅射靶材：圆片式57 mm直径的靶材 样品台：直径50 mm旋转样品台，转速8-20 rpm 极限真空度：2 x 10-2 mbar * 溅射工作真空：镀金时可设真空度范围在2 x 10-2mbar和1 x 10-1mbar之间。
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紫外可见分光光度计(W3三层321A)
Cary 5000 UV-Vis-NIR 分光光度计是一款高性能 UV-Vis 和 NIR 分光光度计，在 175-3300 nm 范围内具有优异的光度测量性能。 主要参数： Z轴高度：20mm 光度系统：双光束 光度范围(Abs)：8 Abs 光源：卤钨灯可见光和氘弧紫外光 光谱带宽：UV-Vis：0.01 - 5.00 nm；NIR：0.04 - 20 nm 波长范围：175 - 3300 nm
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矢量网络分析仪N5290A(W3三层321B)
N5290A网分仪由N5222B网分仪模块，N5292A测试集模块和N5293A扩频头组合而成，频率覆盖900Hz~110GHz，可执行两端口S参数测试，包括但不限于阻抗、驻波比、增益、史密斯圆图、传输增益或损耗、相位、时延等，支持扩展材料测试，测试项如介电常数和磁导率等。
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共享成效 Service  evaluate
Evaluation ranking 服务评价排行
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电容测试仪
2
箱式炉1
3
晶圆键合机
4
-20℃冰箱（理化实验室）
5
场发射扫描电子显微镜
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激光粒度仪
Timing ranking 共享时机排行
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真空干燥箱-LC组
2
暂存设备lc2-321G
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场发射扫描电子显微镜
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光刻机
5
磁控溅射设备
6
冻干机
平台实时运行数据 Platform  data
今日预约：0条 涉及仪器：0台 热门仪器：
82 台
仪器共享
5898 小时
共享机时
4623 次
服务人次
Total （From2023-09-01）
实验： 4283人次
平均时长： 1h23m
020-88338522 广州市南沙区笃学路1号
广州市南沙区笃学路1号
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