波功能超材料中央实验室
Wave Functional Metamaterial Research Facility
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波功能超材料中央实验室 (WFMRF) 注册-准入-培训-预约流程指引
2024-11-04 11:43
波功能超材料中央实验室 (WFMRF) 化学品安全管理制度(暂行)
2024-10-14 17:28
仪器预约
波功能超材料中央实验室 (WFMRF) 消防应急程序(暂行)
2024-10-14 17:28
波功能超材料中央实验室 (WFMRF) 一般安全守则(暂行)
2024-10-14 17:28
波功能超材料中央实验室 (WFMRF) 假期实验管理办法(暂行)
2024-10-14 17:22
波功能超材料中央实验室 (WFMRF) 行为规范条例
2024-10-08 10:58
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微波暗室及近场和远场测试系统(W3一层124A)
暗室尺寸(长×宽×高): 8.6m×5m×4.6m,墙壁铺设屏蔽框架和吸波材料,包括控制电路、监控、照明和消防探头的配套设施,配备天线平面近场测量系统(1.7~40GHz)一套和室内天线远场测量系统(0.9~12GHz)一套,可以对微波天线的近场辐射特性和远场辐射特性进行测试和分析。
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磁控溅射设备(W3三层321F)
用于沉积Ti、Cr、Au、Pt、Cu等金属薄膜。 直流电源功率:0-500W; 均匀性和重复性:在4 inch衬底厚度均匀性优于±5%,重复性优于±3%; 样品尺寸:1片4 inch,向下兼容; 基底温度:0℃-500℃可调; 真空室漏率:5E-5Torr.L/s ; 极限真空:5E-7Torr。
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飞秒激光器(W3三层322)
一款具有自动色散补偿的超快钛蓝宝石激光器: 向样本传输最高峰值功率; 调谐范围广泛,可有效激发常用荧光团; 全自动; 优异的光束和指向稳定性,保持关键的显微镜对准。 主要参数: 峰值功率>425 kW 脉冲宽度<70 fs 调谐范围:690-1040 nm 重复频率:80 MHz±1 MHz 偏振:>500:1 @水平方向 光束圆度:0.9-1.1 光束直径:<1.2 mm
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等离子清洗仪(理化)(W3三层321E)
PIE Scientific Tergeo 应用领域: 引线键合倒装芯片底部填充,器件的封装和解封 光刻胶灰化、除渣、硅片清洗 PDMS/微流控/载玻片/芯片实验 去除的扫描电镜/电镜样品上碳氢污染物 改善金属与金属或复合材料的结合 改善塑料、聚合物和复合材料的粘接 石英腔体尺寸:内径:110mm;深280mm 样品架:2mm厚高纯度石英板 射频天线:外部射频电极和天线设计减少了内部金属电极 射频功率:13.56mhz射频电源,自动阻抗匹配,射频功率有两种选择:0-75watt和0-150watt 工艺气路:高达三个MFC气路 用户界面:7寸电阻式触摸屏
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激光粒度仪(W3三层321G)
适用于湿法测试样品的粒度分布
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多功能键合机(W3三层321C)
1 焊线种类:金线(15~75μm) 2 腔深范围:球焊≥10mm,楔焊≥20mm 3 线轴尺寸适配:2英寸或者1/2英寸 4 键合头 Z 向行程:≥18 mm 5 键合头 X-Y 范围:≥14mm×14mm 6 升降台 Z 向行程:≥18 mm 7 升降台 X-Y 范围:≥于260mm×270mm 8 超声功率:≥5w,可调精度≤0.01w 9 加热台温度:最高温度≥190℃ 10 配备显微镜,最大放大倍数≥15倍,可0.8-4倍连续变焦 11 能兼顾球焊和楔焊的键合工艺 12 劈刀配置不少于:16mm球焊劈刀,19mm楔焊劈刀,25mm楔焊劈刀 13 键合力范围:涵盖1g-250g,分辨率≤1g 14 整机有 ESD 防护功能 15 刹车方式:电动 16 工作台面积:≥260*270mm 17 压焊头行程操作比率8:1
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场发射扫描电子显微镜(W3三层323)
电子枪种类: 冷场发射 SE分辨率可达:1.2nm @30 kV ; BSE分辨率可达:2.0nm @30kV; 放大倍数范围:10-1,000,000×; 加速电压的调整范围:200 V-30 kV; 最大电流:400 nA; 平台移动量程:130 mm × 130 mm; 配备BRUKER XFlash 630m 能谱仪,可提供样品表面微区元素周期表中元素(Be - Am)之定性与半定量分析,以及特定区域之point、line scan、mapping分析。 出色的能量分辨率(Mn Kα 为 123 eV,C Kα 为 45 eV,F Kα 为 53 eV) 极高的脉冲负载能力 出色的轻元素和低能端检测性能(Be - Am 元素范围)
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台阶仪(W3三层321A)
DektakXT®探针式轮廓仪采用革命性的台式设计,可实现 4Å (0.4nm) 的优异重复性,扫描速度可提高 40%。探针式轮廓仪性能的这一重大突破是 Dektak® 五十多年创新和行业领导地位的顶峰。DektakXT 结合了行业领先的技术和设计,可提供高性能、易用性以及价值,实现从研发到质量控制的更好过程监控。DektakXT 的技术突破为微电子、半导体、太阳能、高亮度 LED、医疗和材料科学行业的关键尺寸的纳米级表面测量提供支持。 主要参数: 检测方式:接触式探测 检测范围:二维表面形貌测量 样品观测方式:数字放大
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矢量网络分析仪N5224B(W3一层124A)
两端口网络分析仪;频率:10MHz~43.5GHz,测试端口数:2,动态范围:127 dB,轨迹噪声:0.003 dBrms,可进行两端口S参数测试,包括但不限于阻抗、驻波比、增益、史密斯圆图、传输增益或损耗、相位、时延等,支持扩展材料测试,测试项如介电常数和磁导率等。
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晶圆键合机(W3三层321F)
TWB-100A晶圆片键合机的应用范围主要是4英寸晶圆片键合。将需要键合的晶圆放置夹具上,手动将夹具放置反应腔室中,在设备腔室里工艺完成后,将夹具取出。 1、晶圆键合尺寸4英寸; 2、真空度可达5×10-3Pa; 3、在可控环境(温度、压力、高压等)下键合; 4、可将晶圆加温至450℃,键合工艺结束后自然冷却。
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离子束溅射仪(W3三层323)
Q150R ES能适用于各种样品,并能方便地装卸样品。在安装溅射和蒸发之间的切换很简单。该系统是完全自动化的,由用户定义的配方控制泵送顺序,放气,蒸发脉冲和溅射电流和时间。 工作腔室:硼硅酸盐玻璃150 mm x 127 mm 溅射靶材:圆片式57 mm直径的靶材 样品台:直径50 mm旋转样品台,转速8-20 rpm 极限真空度:2 x 10-2 mbar * 溅射工作真空:镀金时可设真空度范围在2 x 10-2mbar和1 x 10-1mbar之间。
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紫外可见分光光度计(W3三层321A)
Cary 5000 UV-Vis-NIR 分光光度计是一款高性能 UV-Vis 和 NIR 分光光度计,在 175-3300 nm 范围内具有优异的光度测量性能。 主要参数: Z轴高度:20mm 光度系统:双光束 光度范围(Abs):8 Abs 光源:卤钨灯可见光和氘弧紫外光 光谱带宽:UV-Vis:0.01 - 5.00 nm;NIR:0.04 - 20 nm 波长范围:175 - 3300 nm
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矢量网络分析仪N5290A(W3三层321B)
N5290A网分仪由N5222B网分仪模块,N5292A测试集模块和N5293A扩频头组合而成,频率覆盖900Hz~110GHz,可执行两端口S参数测试,包括但不限于阻抗、驻波比、增益、史密斯圆图、传输增益或损耗、相位、时延等,支持扩展材料测试,测试项如介电常数和磁导率等。
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共享成效
Service evaluate
Evaluation ranking
服务评价排行
1
电容测试仪
2
晶圆键合机
3
场发射扫描电子显微镜
4
激光粒度仪
5
-20℃冰箱(理化实验室)
6
TEST设备
Timing ranking
共享时机排行
1
真空干燥箱-LC组
2
暂存设备lc2-321G
3
场发射扫描电子显微镜
4
光刻机
5
磁控溅射设备
6
冻干机
平台实时运行数据
Platform data
今日预约:7条
涉及仪器:6台
热门仪器:场发射扫描电子显微镜
76
台
仪器共享
3623
小时
共享机时
3312
次
服务人次
Total
(From2023-09-01)
实验:
3045人次
平均时长:
1h12m
020-88338522
广州市南沙区笃学路1号
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