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操作手册：
用于沉积Ti、Cr、Au、Pt、Cu等金属薄膜。 直流电源功率：0-500W； 均匀性和重复性：在4 inch衬底厚度均匀性优于±5%，重复性优于±3%； 样品尺寸：1片4 inch，向下兼容； 基底温度：0℃-500℃可调； 真空室漏率：5E-5Torr.L/s ； 极限真空：5E-7Torr。
单次预约最短时间：30 min， 单次预约最长时间：4 h， 每人每天最多预约 3 次。 实验开始前 15 分钟不可撤销， 实验开始前 30 分钟之内，扣除 5 技能值， 技能值低于 70 不可预约。
校内收费：120元/h； 校外收费：1000元/h； 人工费按校外机时费的10%计算，即100元/h； 超时按2倍价格收取； 预约后未使用时长收取1/2费用。 贵重靶材收费： Au、Pt：按8元/nm单独计费； Ag、Cu：按0.2元/nm单独计费。
送样要求：金、铂等贵金属仅接受送样镀膜。
校内收费：120元/h；
校外收费：1000元/h；
人工费按校外机时费的10%计算，即100元/h；
贵重靶材收费：
Au、Pt：按8元/nm单独计费；
Ag、Cu：按0.2元/nm单独计费。
注意事项：未接受培训不允许上机！
预约时请在备注写明所使用的靶材。
金、铂等贵金属镀膜请联系设备管理员。
磁控溅射设备
空闲中
