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操作手册：
样品尺寸：155×155×7mm 直写面积：149mm x 149mm 曝光光源：405 nm LED 1.5W 直写分辨率：1μm and 5 μm 直写速度：50mm2/min @ 1μm 180mm2/min @ 5μm 对准显微镜镜头：x3 and x10 自动切换 多层套刻精度：±1μm 小栅格精度：200nm 样品台小步长：100nm 光学轮廓Z分辨率：200nm 样品表面自动对焦 灰度直写(255级)
单次预约最短时间：15 min， 单次预约最长时间：2 h， 每人每天最多预约 4 次。 实验开始前 15 分钟不可撤销， 实验开始前 30 分钟之内，扣除 5 技能值， 超时1分钟扣除1点技能值。 技能值低于 70 不可预约。
收费：240元/h； 超时按2倍价格收取； 预约后未使用时长收取1/2费用。
送样要求：
注意事项：
无掩膜光刻机
空闲中
